Sala Limpa recém-inaugurada vai potenciar investigação do INESC TEC na área das fibras óticas

A Sala Limpa (ISO6 e ISO7) permite um ambiente controlado no que diz respeito a temperatura (20±1ºC), humidade (50±5%RH) e número e dimensão máxima de partículas em determinado volume. As condições ambientais especiais são essenciais para a produção de dispositivos à escala micro e nano. Por outro lado, além da investigação, a infraestrutura dará apoio à formação de recursos humanos através de aulas avançadas ao nível de mestrado e programas doutorais.

O espaço inclui equipamentos de deposição de filmes finos (sputtering, evaporadores térmicos e por feixe de eletrões, deposição por feixe de iões, PECVD), litografia (alinhador de máscaras, spinning, escrita direta a laser), erosão em plasma reativo (ICP e RIE) e técnicas de caracterização de apoio (microscopia, perfilometria, etc.).

A Sala Limpa do CEMUP é uma das poucas estruturas do género existentes em Portugal. “Estruturas deste tipo abertas à comunidade científica não são habituais”, explica o coordenador da Unidade de Optoeletrónica e Sistemas Eletrónicos (UOSE) do INESC TEC Paulo Marques, que sublinha o caráter transversal da sala, bem como algumas técnicas fundamentais como as litográficas e deposição de filmes finos, que fazem da infraestrutura um espaço singular no nosso país. “Uma das características fundamentais é o facto de dedicar uma área para a formação pós-graduada onde os alunos terão possibilidade de uma formação de qualidade do tipo hands-on, sendo esta uma área onde Portugal é claramente deficitário”, salienta o investigador.

A Sala Limpa irá ser utilizada pela UOSE em processos de deposição de filmes finos, metálicos ou dielétricos, definições de padrões por processos litográficos. Estas atividades vão permitir o processamento de fibras óticas para o fabrico de novos sensores e o fabrico de dispositivos óticos integrados, microfluídica, entre outros.

Neste sentido, a infraestrutura pode vir a representar uma alavancagem e expansão na investigação da UOSE já que “irá permitir melhores condições de fabricação fundamentais para a maquinação de fibras óticas, microfluidica e ótica integrada, o que potenciará avanços fundamentais no desenvolvimento de biossensores e sensores químicos”, explica Paulo Marques.

Além disso, a partilha do mesmo espaço físico de investigadores de diversas sensibilidades e competências científicas será bastante benéfica já que “permitirá uma fertilização cruzada que irá ter um impacto nas aplicações de caráter multidisciplinar”, enfatiza o coordenador da UOSE.

Localizada na Faculdade de Ciências da Universidade do Porto (FCUP), a infraestrutura, que pode ser utilizada por várias unidades, entidades e empresas associadas à Universidade do Porto, teve o apoio essencial do INESC TEC durante o processo de candidatura e durante a supervisão da construção. O Laboratório Associado contribuiu também com a colocação de alguns equipamentos de micro e nanofabricação.

O projeto de Reforço e Requalificação da Infra-estrutura de Micro/Nanofabricação da Universidade do Porto, no qual se inclui a Sala Limpa, teve como entidade promotora a Reitoria da Universidade do Porto e foi dotado de um investimento elegível superior a 1,7 milhões de euros. Neste montante inclui-se a aquisição de um equipamento de XPS que equipou a Unidade de Imagem, Microestrutura e Microanálise-IMICROS do CEMUP (o custo aproximado deste equipamento foi de 500 mil euros).